真空用機械密封的特點：真空器件比帶壓設備的密封困難。內(nèi)壓可以促進密封，而在真空密封中，摩擦副的貼合主要靠彈性元件的加載，補償環(huán)輔助密封圈必須選用彈性好的材料才能實現(xiàn)密封。
真空器件的密封有兩種情況，一種是密封件把充滿液態(tài)介質(zhì)的某一容器與外部真空空間分隔開。在這種情況下,密封件的主要作用是防止液態(tài)介質(zhì)漏入真空空間。另一種情況是，密封件把真空內(nèi)腔與外腔分隔開，它的作用是保持要求的真空度。這種情況比較復雜，因為周圍氣體介質(zhì)即使稍微漏入真空腔內(nèi)，也會使其真空度降低。如果漏入了腐蝕性氣體,真空設備就可能損壞。在很多情況下，真空度和真空空間的潔凈，對真空條件下進行的各種工藝過程的質(zhì)量有決定性的影響。
真空器件所使用的機械密封在結(jié)構(gòu)上并無特殊之處。對于上述的第一種情況，通常是采用氣密性好的金屬波紋營型單端面機械密封。第二種情況則要用雙端面機械密封，若使用單端面密封，勢必存在密封端面不能獲得潤滑的問題。
設計真空密封，除了有合理的結(jié)構(gòu)外，選擇彈性體材料更為關鍵。機械密封的輔助密封圏多為橡膠O形圈，這是因為可利用較大的壓縮量將低硬度或中等硬度的橡膠加大其變形，以使橡膠圈更能充分地貼進被密封偶件表面的間隙中，提高密封性。然而，橡膠材料具有一定的透氣性，其漏氣率是影響真空密封的主要因素。但通過選用合適的橡膠材料和配方以及應用烘烤方法等，可將這種傾向減小到最低限度。
真空對橡膠的作用與腐蝕介質(zhì)的作用相似，由于真空的作用，橡膠組分中的許多易揮發(fā)配合劑(增塑劑、增強劑、抗老化劑等)會向真空中升華。這樣，橡膠的物理、力學性能，以及抗老化、耐溫、耐介質(zhì)作用的能力就會下降。氣體和液體介質(zhì)的蒸氣，借助于真空作用，能很容易地沿被密封表面粗糙度形成的微觀‘溝槽’通過。這不僅僅是由于密封件兩側(cè)存在壓差的緣故。首先,介質(zhì)之所以容易通過，與真空作用使微觀‘溝槽’表面上的潤滑膜被抽吸有關;其次是液體介質(zhì)分子的活性增加,在真空中轉(zhuǎn)變?yōu)闅鈶B(tài),還有，在真空作用下不僅會產(chǎn)生接觸泄漏，介質(zhì)通過密封發(fā)生擴散泄漏等。橡膠在一定真空度和溫度下的升華值(失重)，一般要求小于10%,以保證維持既定的真空度。表1是幾種橡膠在真空中的升華值。